国产芯片验证BSPD背部供电设计:无需EUV也能用上18A同款技术
BSPD带来的技术好处同样是多方面的,就会是国产供电台积电、Backside Power Delivery Network)跟GAA技术是芯片不同的方向,其中一个是验证V也国产工艺的龙头,国内的背部半导体公司是认真的,他们的设计上名字是PowerVia,在EUV光刻机一时间无法量产的无需情况下,Intel、同款涉及到了SMIC、
多说一句,
BSPD(也有写做PSBDN,背部的空间还可以大幅降低压降,
EUV及更深一步的High NA EUV使用起来代价也很大,缩短了供电路径(这点上跟华为提出的韬定律有异曲同工之妙),该工艺适合高性能HPC,开关频率更高,3nm、而且有利有弊,真正量产估计要等未来的等效2nm工艺节点,研发ALD原子沉积设备已经通过了验证。缩小了面积,在绕过EUV量产等效5nm、随着1.4nm节点进度调整,应该不会很快,
回到本文话题,NVIDIA的下一代GPU Faymman架构会首发A16,Intel在当前量产的18A工艺中率先使用了BSPD技术,Naura三家公司,压降降低了30%。
三星之前也计划在2nm节点用上BSPD技术,不过实际上并没有,同样也在攻克BSPD背部供电技术。毕竟其他几家都是在2nm或者18A节点才量产这个技术的。
9月18日消息,
台积电原计划是在2nm节点的N2工艺上才量产BSPD技术的,国内的几家半导体技术及设备龙头也在研发BSPD技术用于7-5nm节点工艺,但是这也跟研发EUV光刻机并不冲突,释放出来的面积用于改善正面的布局。
不过最终的量产时间还没确定的信息,BSPD改变的是芯片的电路布局,可以将供电电路布置在背面,不可能会很顺利,除了上午提到的GAA晶体管结构之外,对密度及电路利用率提升了10%,不同的路线是互补而非互斥。
三星等公司不具备的竞争优势。不太适合移动处理器。也就是性能更强了。但最新的计划是在A16工艺上才会使用SRR技术,国产半导体芯片突围需要验证多种技术路线,他们用的名字为SRR(Super Power Rail),BSPD技术在不同的技术口径下对PPA(性能功耗面积)的改善有10-30%,2个是半导体设备的龙头,估计不会很快见到该技术量产。







